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8 月 25 日消息,科技媒体 Tom's Hardware 昨日(8 月 24 日)发布博文,报道称京都大学研究团队研发出新型碳化硅(SiC)晶体管, 采用标准离子注入工艺制造,可在 600℃(873 K)下工作。 IT之家援引博文介绍,该晶体管采用商业芯片工厂普遍使用的“离子注入”(ion implantation)工艺打造,相关成果于 8 月 17 日发表在《APL Electronic Devices》。 研究团队选择“结型场效应晶体管”(JFET)结构,并将栅极置于沟道下方,形成底栅(bottom-gate)布局。离子注入过程中,部分掺杂原子会
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